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穩(wěn)定的神視SUNX滲漏檢測(cè)傳感器檢測(cè) 為側(cè)面安裝式的約10mm薄型，因此在狹小空間內(nèi)也可使用。 滲漏檢測(cè)傳感器EX-F71/F72、EX-F61/F62用的簡(jiǎn)易省配線單元（普通傳感器也能使用）。 多可將8個(gè)滲漏檢測(cè)傳感器的輸出組合成單個(gè)OR輸出，可以實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)潔的配線。

日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧、輕盈型 測(cè)量距離45mm 檢測(cè)物體3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓（注2） 可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面（注3） 檢測(cè)角度12.5±5°（注4） 晶圓間距間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)（注5）

原裝panasonic晶圓定位傳感器操作模式 耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間 緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 耐振動(dòng) 頻率10～150Hz　雙振幅0.75mm　X,Y和Z方向各2小時(shí) 耐沖擊 加速度490m/s2（約50G）　X,Y和Z方向各3次

日本神視SUNX小型光電傳感器更好的 使用環(huán)境照明度 熒光燈光：受光面照明度1,000 ?x以下 耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間 緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 投光元件 紅外線LED（投光波峰波長(zhǎng)：855nm、非調(diào)制式）

神視SUNX壓力傳感器詳細(xì)說(shuō)明 無(wú)需按正壓、負(fù)壓選擇傳感器，可減少登錄編號(hào)。 低壓型實(shí)現(xiàn)了分辨率1/2,000的0.1kPa單位顯示、反應(yīng)時(shí)間2.5ms（Z多5,000ms可變）、溫度特性±0.5%F.S.、重復(fù)精度±0.1%F.S.和高精度檢測(cè)。 高功能型中新增了模擬電流輸出 模擬輸出不僅配備了電壓輸出，還配備了電流輸出，可根據(jù)用途進(jìn)行選擇。