日本CKD小型流量感測(cè)器AC4000-03D

各種泄露檢查
針孔檢查
離子化器的吹掃氣體確認(rèn)
焊接氣體的管理
吹掃氣體的流量管理
落座確認(rèn)
吸附確認(rèn)
可以直接測(cè)量泄露流
量。即便是微壓，由于
輸出與針孔成正比，
因此也可以用來(lái)判斷
有否故障、確認(rèn)狀態(tài)
①與①與壓力感測(cè)器不相上下的高速應(yīng)答（應(yīng)答由管線(xiàn)的內(nèi)容積、壓力等決定）
②由于是通過(guò)流量探測(cè)的，因此不存在因壓力的變化而引起的調(diào)節(jié)、誤檢情形。
③可以探測(cè)出噴嘴或過(guò)濾器的孔口堵塞。
④通過(guò)流量探測(cè)，可以管理傾斜吸附等吸附錯(cuò)誤。
利用壓力感測(cè)器時(shí)有時(shí)差壓過(guò)小而無(wú)法判別，此
時(shí)根據(jù)流量可以準(zhǔn)確地進(jìn)行判別。
激光激發(fā)器、半導(dǎo)體制造裝置的N2氣體管理
處置的流量量程大。
內(nèi)嵌速控器型（特別訂購(gòu)品）可以
輕松對(duì)流量進(jìn)行控制。
各種泄露檢查
離子化器的流量管理
焊接氬、碳酸氣的流量管理
涂裝氣體的流量管理
吹掃氣體的流量管理
吸附確認(rèn)
與壓力感測(cè)器相比較（噴嘴直徑為Ф0.3、真空壓力為-70kPa時(shí)）

日本CKD小型流量感測(cè)器AC4000-03D